「光刻」是高端芯片生產過程中重要一環,而光刻機則是是製造精密芯片的關鍵。EUV光刻即是極紫外光刻,而EUV光刻是目前頂尖的技術。EUV光刻機目前由荷蘭商艾司摩爾(ASML)獨家供應,一部EUV光刻機的
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